SEMI S2/S8 準則定義出半導體設備安全性導向的準則
這些 SEMI “S” 法規標準需求的範疇包括半導體設備可能的健康及安全危害，例如 : 機械、電氣、化學、游離與非游離輻射、防震、通風、環保及人因工程 ..... 等。 此外還有許多其他供參考的SEMI準則或支援SEMI S2/S8 的準則。
SEMI S2 章節內容及 SEMI "S" 相關安全法規 , 重要清單說明如下所示。
S2 Evaluation to SEMI® 準則 由近20項基本元素組成：
SEMI "S" Series 系列相關法規標準
執行半導體製造設備安全衛生及環保符合性評估
SEMI S1 --- 設備安全標籤安全基準 。
SEMI S2 --- 半導體製造設備環保、健康及安全基準。
SEMI S3 --- 製程液體加熱系統安全基準。
SEMI S4 --- 供應櫃內化學品鋼瓶隔離之安全指引。
SEMI S5 --- 氣體鋼瓶限流裝置尺寸估量及鑑定安全指引。
SEMI S6 --- 半導體製造設備排氣通風基準。
SEMI S7 --- 半導體製造設備的環境、安全和健康(ESH)評估之安全基準。
SEMI S8 --- 半導體製造設備人因工程的安全基準。
SEMI S9 --- 半導體製程設備之電氣設計驗證測試基準。
SEMI S10 --- 風險評估及風險估算過程之安全指引。
SEMI S11 --- 半導體製造設備微環境用安全和衛生基準。
SEMI S12 --- 設備除污基準。
SEMI S13 --- 半導體製造設備使用者文件的環境、衛生及安全基準。
SEMI S14 --- 半導體製造設備火災風險評估與降低之安全基準。
SEMI S15 --- 有毒及易燃氣體偵測系統的評估安全基準。
SEMI S16 --- 半導體製造設備壽命終了階段減少環境衝擊的設計基準。
SEMI S17 --- 無人搬運車（UTV）系統之安全基準。
SEMI S18 --- 矽烷族氣體處理的環境、衛生與安全基準。
SEMI S19-1102半導體製造設備之安裝、保養及維修人員訓練安全基準。
SEMI S20 --- 能量隔離裝置之標示與文件化安全基準 – 能量控制。
SEMI S21 --- 人員防護安全基準。
SEMI S22 --- 半導體製造設備的電氣設計安全基準。
SEMI S23 --- 導體製造設備之能源、電力、原料節約基準。
SEMI S24 --- 多雇主工作區之安全基準。
SEMI S25 --- 過氧化氫貯存及搬運系統之安全基準。
SEMI S26 FPD 面板製造設備安全衛生及環保符合性評估服務
SEMI S28 半導體製造設備Load ports and Robots符合性評估服務
SEMI E33 半導體製造設備電磁相容指南符合性評估服務
